Elektrostatische Einspannvorrichtung mit Gasflussfunktion und Zugehörige Verfahren

EP4150665 Art A1 22. März 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4150665
Aktenzeichen
EP21803350
Anmeldetag
11. Mai 2021
Veröffentlichung
22. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/683H02N13/00H01L21/67H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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