Basissubstrat für Kristalle aus Verbindungen der Gruppe Iii-V und Herstellungsverfahren dafür

EP4151783 Art A1 22. März 2023

Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4151783
Aktenzeichen
EP21803639
Anmeldetag
7. Mai 2021
Veröffentlichung
22. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/20H01L21/762H01L27/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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