Schwingungsisolator zum Unterstützen einer Nutzlast
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, ASML Netherlands B.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4151880
- Aktenzeichen
- EP21197474
- Anmeldetag
- 17. September 2021
- Veröffentlichung
- 29. Oktober 2025
- Erteilung
- 29. Oktober 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F16F9/04
Abstract
A vibration isolator (10) for supporting a payload and isolating the payload from vibrations comprises: a pressurized gas compartment (24) formed with a rigid base structure (28), which base structure has an opening (32) covered with a flexible membrane (20) having an inner surface (21) facing into the gas compartment and an outer surface (22) facing in the opposite direction, a support member (12) for supporting the payload, which support member is arranged in contact with the outer surface (22) of the membrane, and a clamping member (62) arranged at the inner surface (21) of the membrane, wherein the support member and the clamping member form a clamping system (66), which system comprises at least one magnetic element (64) effecting the membrane to be pressed against the support member.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
ASML Netherlands B.V. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
2.391 Patente in unserer Datenbank
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
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Zeuner Summerer Stütz
Zeuner Summerer Stütz · München