Verfahren zum Herstellen eines Dreidimensional-Integrierten Halbleiterspeichers

EP4152395 Art A1 22. März 2023

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4152395
Aktenzeichen
EP21197603
Anmeldetag
20. September 2021
Veröffentlichung
22. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L27/11556H01L21/3065H01L27/11582
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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