Dichtungseinführungswerkzeug für ein Flüssigkeitsausgabemodul und Verfahren zur Installation einer Dichtung in einem Flüssigkeitsausgabemodul

EP4154305 Art A1 29. März 2023

Anmelder: Ichor Systems, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4154305
Aktenzeichen
EP21809412
Anmeldetag
13. Mai 2021
Veröffentlichung
29. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67B25B23/14B25B27/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ichor Systems, Inc.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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