Verwendung einer Zusammensetzung aus Ammoniak und einem Alkanol zur Vermeidung von Musterkollaps bei der Behandlung von Gemusterten Materialien mit 50 Nm oder Darunter

EP4158678 Art A1 5. April 2023

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4158678
Aktenzeichen: EP21724690
Anmeldetag: 12. Mai 2021
Veröffentlichung: 5. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02B81C1/00C11D11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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