Metall-Si-Basiertes Pulver, Verfahren zur Herstellung Davon, Metall-Si-Basierter Sinterkörper, Sputtertarget und Metall-Si-Basiertes Dünnfilmherstellungsverfahren

EP4159888 Art A1 5. April 2023

Anmelder: Tosoh Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4159888
Aktenzeichen
EP21812235
Anmeldetag
24. Mai 2021
Veröffentlichung
5. April 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34B22F1/00B22F9/08C01B33/06C04B35/58C22C1/04C22C27/06C04B35/622C04B35/645C22C1/05C22C1/10B22F1/05C22C28/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tosoh Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tosoh Corporation

Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.

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