Temperaturgesteuerte Abschirmung für eine Verdampfungsquelle, Materialabscheidungsvorrichtung und Verfahren zur Ablagerung eines Materials auf einem Substrat

EP4162093 Art A1 12. April 2023

Anmelder: Elevated Materials Germany GmbH, Applied Materials, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4162093
Aktenzeichen: EP21818824
Anmeldetag: 27. Mai 2021
Veröffentlichung: 12. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/16C23C14/24C23C14/54C23C14/56H01M4/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Elevated Materials Germany GmbH
Applied Materials, Inc.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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