Dampfabscheidungsvorrichtung und Verfahren zur Beschichtung eines Substrats in einer Vakuumkammer

EP4162094 Art A1 12. April 2023

Anmelder: Elevated Materials Germany GmbH, Applied Materials, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4162094
Aktenzeichen: EP21818990
Anmeldetag: 27. Mai 2021
Veröffentlichung: 12. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/04C23C14/16C23C14/24C23C14/54C23C14/56C23C14/26H01M4/04// H01M4/1395H01M4/66

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Elevated Materials Germany GmbH
Applied Materials, Inc.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

6.825 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von