Substratreinigungslösung, Verfahren zur Herstellung eines Gereinigten Substrats und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP4162325 Art A1 12. April 2023

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4162325
Aktenzeichen: EP21730819
Anmeldetag: 31. Mai 2021
Veröffentlichung: 12. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/40H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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