Wärmebehandlungsverfahren für Siliziumwafer mit Horizontalem Wärmebehandlungsofen

EP4163425 Art A1 12. April 2023

Anmelder: Sumco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4163425
Aktenzeichen: EP21817172
Anmeldetag: 18. März 2021
Veröffentlichung: 12. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C30B29/06C30B33/02H01L21/225H01L21/67H01L21/673H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumco Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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