Vorläuferverbindungen für die Dampfphasenabscheidung und Verfahren zu deren Verwendung

EP4165226 Art A1 19. April 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4165226
Aktenzeichen
EP21823021
Anmeldetag
10. Juni 2021
Veröffentlichung
19. April 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/455C23C16/36H01L21/02C07F7/10C07F7/18
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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