Interferometer auf der Basis eines Atomkraftmikroskops

EP4165418 Art A2 19. April 2023

Anmelder: Oxford Instruments Asylum Research, Inc., Centre National de la Recherche Scientifique, Ecole Normale Supérieure de Lyon, Université Claude Bernard Lyon I 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4165418
Aktenzeichen: EP21785976
Anmeldetag: 18. August 2021
Veröffentlichung: 19. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01Q20/02G01B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Oxford Instruments Asylum Research, Inc.
Centre National de la Recherche Scientifique
Ecole Normale Supérieure de Lyon
Université Claude Bernard Lyon I
Land: 🇺🇸 USA

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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