Vakuumpumpe
EP4166790
Art A1
19. April 2023
Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4166790
- Aktenzeichen
- EP21821466
- Anmeldetag
- 4. Juni 2021
- Veröffentlichung
- 19. April 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04D27/00F04D29/70
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Edwards Japan Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Edwards Japan
Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Openshaw & Co
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