Erweiterte Polierkissen und Zugehörige Verfahren zur Herstellung von Polierkissen

EP4168210 Art A1 26. April 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4168210
Aktenzeichen
EP21827073
Anmeldetag
8. März 2021
Veröffentlichung
26. April 2023
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/24B24B37/22B24B37/10B24D11/00B24D3/16H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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