Reinigungssystem für Plattenabschirmung

EP4168211 Art A1 26. April 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4168211
Aktenzeichen: EP21829046
Anmeldetag: 21. Juni 2021
Veröffentlichung: 26. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/34B24B37/20B24B41/047H01L21/67B08B1/14B08B1/32// B24B37/11B24B55/04H01L21/304H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von