Cyclosiloxane und damit Hergestellte Folien

EP4168604 Art A1 26. April 2023

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4168604
Aktenzeichen
EP21845706
Anmeldetag
23. Juli 2021
Veröffentlichung
26. April 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C07F7/21C23C16/505C23C16/56H01L21/02C23C16/511C23C16/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Versum Materials US, LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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ANDREA | SOMMER Patentanwälte Partnerschaft mbB mit Sitz in München, in direkter Nähe zum Europäischen Patentamt. Vertritt vor EPA, EUIPO und WIPO mit Schwerpunkten in Chemie und Pharmazie, berät von Einzelerfindern und Start-ups bis zu internationalen Konzernen.

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