Siliciumvorläuferverbindungen und Verfahren zur Herstellung von Siliciumhaltigen Filmen

EP4168607 Art A1 26. April 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4168607
Aktenzeichen
EP21828685
Anmeldetag
23. Juni 2021
Veröffentlichung
26. April 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/40C23C16/34C23C16/455H01L21/02C23C16/04C23C16/36
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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