Ionenstrahl-Extraktionsvorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Ionenstrahls

EP4169053 Art A1 26. April 2023

Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4169053
Aktenzeichen: EP20734507
Anmeldetag: 22. Juni 2020
Veröffentlichung: 26. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/08H01J37/02H01J27/02H01J37/067

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Die Max-Planck-Gesellschaft betreibt zahlreiche Institute für Grundlagenforschung in Natur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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