Automatisches Kerf-Offset-Abbildungs- und Korrektursystem zum Laserschneiden

EP4169064 Art A1 26. April 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4169064
Aktenzeichen
EP21830159
Anmeldetag
20. Mai 2021
Veröffentlichung
26. April 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/78H01L21/67B23K26/38H01L21/3065B23K103/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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