Sputterziel mit Rückseitigen Kühlrillen

EP4170059 Art B1 25. September 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4170059
Aktenzeichen: EP22214820
Anmeldetag: 14. August 2014
Veröffentlichung: 25. September 2024
Erteilung: 25. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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