Pellikel, Originalplatte für Lichtexposition, Lichtexpositionsvorrichtung, Verfahren zur Herstellung des Pellikels und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP4170428 Art A1 26. April 2023

Anmelder: Mitsui Chemicals, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4170428
Aktenzeichen: EP21852502
Anmeldetag: 3. August 2021
Veröffentlichung: 26. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62C01B32/159C01B32/168C01B32/17C01B32/174

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsui Chemicals, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsui Chemicals

Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

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