Gaseinschluss Während des Spritzens eines Fluids zur Temperatursteuerung Beim Chemisch-Mechanischen Polieren

EP4171872 Art A1 3. Mai 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4171872
Aktenzeichen: EP21831640
Anmeldetag: 28. Juni 2021
Veröffentlichung: 3. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/015B24B55/02B24B37/30H01L21/67B24B49/14B24B55/03

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

6.825 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von