Polierträgerkopf mit Piezoelektrischer Drucksteuerung

EP4171874 Art A1 3. Mai 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4171874
Aktenzeichen: EP21828383
Anmeldetag: 22. Juni 2021
Veröffentlichung: 3. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/30B24B49/16B24B49/10H01L21/67B24B37/013B24B37/10B24B37/32B24B49/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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