Schichtdickenschätzung aus Maschinenlernbasierter Verarbeitung von Substratbildern

EP4172560 Art A1 3. Mai 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4172560
Aktenzeichen: EP21834628
Anmeldetag: 25. Juni 2021
Veröffentlichung: 3. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/06H01L21/66G06T7/00G06T7/62G06T7/90G06N3/04G06N3/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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