Yttriumoxidbasierte Beschichtung und Massenzusammensetzungen

EP4173021 Art A1 3. Mai 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4173021
Aktenzeichen: EP21834433
Anmeldetag: 28. Juni 2021
Veröffentlichung: 3. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/08C23C16/44C23C28/04C23C14/22C23C4/11C23C14/30C04B35/44C04B35/622H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von