In-Situ-Dünnschichtmessung durch Transparenten Kristall und Transparentes Substrat in der Wand einer Verarbeitungskammer

EP4173023 Art A1 3. Mai 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4173023
Aktenzeichen: EP21822035
Anmeldetag: 11. Juni 2021
Veröffentlichung: 3. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66H01L21/67G01B11/06C23C16/52H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von