Zusammensetzung mit einem Siloxan und einem Alkan zur Vermeidung von Musterkollaps bei der Behandlung von Gemusterten Materialien mit Linienraumabmessungen von 50 Nm oder Darunter

EP4179057 Art A1 17. Mai 2023

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4179057
Aktenzeichen: EP21737452
Anmeldetag: 29. Juni 2021
Veröffentlichung: 17. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C11D11/00G03F7/40H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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