Beschichtungen mit Fluoriertem Yttriumoxid und einem Metalloxid sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung der Beschichtungen

EP4179127 Art A1 17. Mai 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4179127
Aktenzeichen
EP21838586
Anmeldetag
8. Juli 2021
Veröffentlichung
17. Mai 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/44C23C16/40C23C16/56C23C16/455C23C16/458H01J37/32C04B35/486C04B35/488C23C28/04C04B35/622C04B35/553C04B35/505B32B18/00C23C28/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen