Punktheizverfahren und Vorrichtung zum Bewegen eines Strahls mit Horizontaler Drehbewegung

EP4179134 Art A1 17. Mai 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4179134
Aktenzeichen: EP21837651
Anmeldetag: 10. Mai 2021
Veröffentlichung: 17. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C30B25/10C23C16/48H01L21/67F27D11/00F27D99/00B23K103/00B23K26/08B23K26/12F27B17/00F27D9/00F27D5/00H01L21/268

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

6.825 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von