Kohlenstofffreie Laminierte Hafniumoxid-/zirkonoxid-Schichten für Ferroelektrische Speicher

EP4182966 Art A1 24. Mai 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4182966
Aktenzeichen
EP21843112
Anmeldetag
14. Juli 2021
Veröffentlichung
24. Mai 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/40C23C16/455H01L21/02H10B41/27H10B43/27
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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