Verfahren zum Montieren eines Facettenspiegels

EP4184251 Art A1 24. Mai 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4184251
Aktenzeichen: EP22208544
Anmeldetag: 21. November 2022
Veröffentlichung: 24. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B27/62G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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