Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen von Dünnschichtmaterial auf ein Substrat

EP4184601 Art B1 17. Juli 2024

Anmelder: IMEC VZW, UNIVERSITEIT HASSELT, Imec VZW, Universiteit Hasselt 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4184601
Aktenzeichen: EP21209014
Anmeldetag: 18. November 2021
Veröffentlichung: 17. Juli 2024
Erteilung: 17. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H10K71/13B05C1/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
UNIVERSITEIT HASSELT
Imec VZW
Universiteit Hasselt
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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