Modulare Vorvakuumleitung

EP4185771 Art B1 29. Januar 2025

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4185771
Aktenzeichen
EP21752102
Anmeldetag
22. Juli 2021
Veröffentlichung
29. Januar 2025
Erteilung
29. Januar 2025
Rechtsraum
EP
IPC
F04B37/02F04B37/18F16L51/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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