Verfahren zur Abscheidung von Tiefenvariierenden Brechungsindexschichten

EP4185901 Art A1 31. Mai 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4185901
Aktenzeichen: EP21846427
Anmeldetag: 8. Juli 2021
Veröffentlichung: 31. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G02B1/02C23C14/34C23C14/08C23C14/06C23C14/00C23C16/40C23C16/34C23C16/505C23C14/54G02B5/18G02B1/118G02B1/113H01J37/32H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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