Bestimmung von Substratprofileigenschaften mittels Maschinenlernen

EP4186012 Art A1 31. Mai 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4186012
Aktenzeichen
EP21846573
Anmeldetag
21. Juli 2021
Veröffentlichung
31. Mai 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G06N20/00G06F16/906G03F7/00G06N3/084G06N5/01G06N20/10G06N20/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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