Integriertes Substratmesssystem zur Verbesserung der Herstellungsprozessleistung

EP4186093 Art A1 31. Mai 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4186093
Aktenzeichen: EP21846572
Anmeldetag: 21. Juli 2021
Veröffentlichung: 31. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/418G05B19/042H01L21/67H01L21/66H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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