Verdampfungsquelle, Dampfabscheidungsvorrichtung und Verfahren zur Beschichtung eines Substrats in einer Vakuumkammer

EP4189134 Art A1 7. Juni 2023

Anmelder: Elevated Materials Germany GmbH, Applied Materials, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4189134
Aktenzeichen: EP21850870
Anmeldetag: 8. Juni 2021
Veröffentlichung: 7. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/24C23C14/56C23C14/04C23C14/50H01M4/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Elevated Materials Germany GmbH
Applied Materials, Inc.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von