Zusammensetzungen und Verfahren zum Selektiven Ätzen von Siliciumnitridschichten

EP4189728 Art A1 7. Juni 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4189728
Aktenzeichen
EP21849207
Anmeldetag
29. Juli 2021
Veröffentlichung
7. Juni 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/311C09K13/08
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen