Verfahren zur Beschichtung eines Flexiblen Substrats in einem R2R-Abscheidungssystem und Dampfabscheidungssystem

EP4192996 Art A1 14. Juni 2023

Anmelder: Elevated Materials Germany GmbH, Applied Materials, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4192996
Aktenzeichen: EP21854178
Anmeldetag: 30. Juli 2021
Veröffentlichung: 14. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56C23C14/54C23C14/04C23C14/24H01M4/04H01M4/139C23C14/16B65H23/032B65H23/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Elevated Materials Germany GmbH
Applied Materials, Inc.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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