Ventil zur Veränderung der Strömungsleitfähigkeit unter Vakuum

EP4193085 Art A1 14. Juni 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4193085
Aktenzeichen: EP21852522
Anmeldetag: 7. Juli 2021
Veröffentlichung: 14. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: F16K51/02F16K31/126F16K31/04F16K31/53F16K27/02F16K25/00H01L21/67F16K3/03

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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