Nitridätzzusammensetzung und -Verfahren

EP4196546 Art A1 21. Juni 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4196546
Aktenzeichen
EP21856810
Anmeldetag
13. August 2021
Veröffentlichung
21. Juni 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C09K13/08H01L21/306H01L21/02H01L21/311C23F11/04H01L21/3213C23F4/00C23F1/16C23F1/26C23F1/44
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen