Verfahren zur Herstellung von Verunreinigungsfreien Metalllegierungsschichten

EP4196624 Art A1 21. Juni 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4196624
Aktenzeichen: EP21856619
Anmeldetag: 11. August 2021
Veröffentlichung: 21. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C08G77/06C08G77/26C09D183/08C23C16/08C23C16/32C23C16/18C23C16/34C23C16/455H01L21/28H01L21/285C07F7/28C07F5/06C07F7/08H10D64/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von