Kassettenniederhalter

EP4197030 Art A1 21. Juni 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4197030
Aktenzeichen
EP21856595
Anmeldetag
10. August 2021
Veröffentlichung
21. Juni 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/673
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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