Mikroskopie-Feedback für Verbesserte Ätzgenauigkeit
EP4199034
Art A1
21. Juni 2023
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4199034
- Aktenzeichen
- EP22211532
- Anmeldetag
- 5. Dezember 2022
- Veröffentlichung
- 21. Juni 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/30H01J37/304H01J37/305
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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