Verfahren zur Herstellung einer Vorläufer-Halbleiterbauelementstruktur

EP4199111 Art A1 21. Juni 2023

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4199111
Aktenzeichen
EP21214869
Anmeldetag
15. Dezember 2021
Veröffentlichung
21. Juni 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L29/775H01L29/06H01L21/762H01L21/8234H01L21/336// B82Y10/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Imec VZW
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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