Polysilazan, Siliciumhaltige Filmbildende Zusammensetzung damit und Verfahren zur Herstellung eines Siliciumhaltigen Films damit

EP4200357 Art A1 28. Juni 2023

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4200357
Aktenzeichen: EP21769662
Anmeldetag: 23. August 2021
Veröffentlichung: 28. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C08G77/62C08L83/16H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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