Materialabscheidungsvorrichtung mit mindestens einer Heizanordnung und Verfahren zur Vor- Und/oder Nacherwärmung eines Substrats

EP4200460 Art A1 28. Juni 2023

Anmelder: Elevated Materials Germany GmbH, Applied Materials, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4200460
Aktenzeichen: EP21858829
Anmeldetag: 9. August 2021
Veröffentlichung: 28. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56C23C14/54C23C14/24C23C14/02C23C14/58C23C16/54C23C16/46C23C16/02C23C16/56C23C14/04C23C14/12C23C14/16C23C14/26C23C14/50H01M4/04H01M4/1395H01M4/38H01M4/66H01M10/052

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Elevated Materials Germany GmbH
Applied Materials, Inc.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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