Verarbeitungssystem zur Verarbeitung eines Flexiblen Substrats und Verfahren zur Messung einer Eigenschaft eines Flexiblen Substrats

EP4200461 Art A1 28. Juni 2023

Anmelder: Elevated Materials Germany GmbH, Applied Materials, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4200461
Aktenzeichen: EP21858889
Anmeldetag: 16. August 2021
Veröffentlichung: 28. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56C23C14/54C23C14/16C23C14/20C23C16/54C23C16/52H01L21/67H01L21/677C23C16/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Elevated Materials Germany GmbH
Applied Materials, Inc.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von