Zusammensetzung, deren Verwendung und Verfahren zum Selektiven Ätzen von Silizium-Germanium-Material

EP4200895 Art A1 28. Juni 2023

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4200895
Aktenzeichen: EP21762499
Anmeldetag: 18. August 2021
Veröffentlichung: 28. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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